SU7000是一臺實現(xiàn)了獲取大量信息的新型掃描電鏡,可以滿足客戶的多種觀察需求。
接下來請欣賞SU7000帶來的多彩世界。
*圖為包含選配項的SU7000示意圖
Hitachi日立場發(fā)射掃描電鏡SU7000核心理念:
1.采用優(yōu)的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測信號。全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng),使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號,用戶可以在短時間內(nèi)獲得更的樣品信息。
2.采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對成像需求的不斷增長,SU7000特新增了幾種探測器,還引進了相應(yīng)的成像功能。SU7000多可同時顯示和保存6通道信號。實現(xiàn)了獲得樣品信息的更大化。
3.支持不同形狀樣品、多種觀察方法
大型樣品觀察
低真空觀察
低溫觀察
實時觀察
等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備,觀察方法也是一應(yīng)俱全。
4.支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍,大束流可達到200 nA,適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、熒光分析等,接口設(shè)備可通過選配附件滿足多種特殊需求。
Hitachi日立場發(fā)射掃描電鏡SU7000規(guī)格:
項目 |
內(nèi)容 |
||
圖像分辨率 |
二次電子分辨率 |
0.8 nm/15 kV |
|
0.9 nm/1 kV |
|||
放大倍率 |
20~2,000,000 x |
||
電子槍 |
發(fā)射體 |
ZrO/W熱場發(fā)射(肖特基熱場發(fā)射) |
|
加速電壓 |
0.1~30 kV (步進:0.01 kV) |
||
束流 |
大200 nA |
||
探測器 |
標(biāo)準(zhǔn)探測器 |
UD (上探測器) |
|
MD (中探測器) |
|||
LD (下探測器) |
|||
選配探測器*1 |
PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器) |
||
UVD(高靈敏度低真空探測器 ) |
|||
低真空模式*1 |
樣品倉壓力范圍 |
5~300 Pa |
|
可使用探測器 |
PD-BSED, UVD, UD, MD, LD |
||
馬達臺 |
馬達臺控制 |
5軸馬達驅(qū)動 |
|
移動范圍 |
X |
0~135 mm |
|
Y |
0~100 mm |
||
Z(WD) |
1.5~40 mm |
||
T(傾斜角) |
-5~70° |
||
R(旋轉(zhuǎn)角) |
360° |
||
樣品尺寸 |
大直徑:φ200 mm, 大高度:80 mm |
||
顯示器*1 |
23英寸LCD (1,920×1,080), 支持雙屏 |
||
圖像顯示模式 |
全屏顯示模式 |
1,280×960像素顯示 |
|
單屏顯示模式 |
800×600像素顯示 |
||
雙屏顯示模式 |
800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2 |
||
四屏顯示模式 |
640×480像素顯示 |
||
六屏顯示模式*2 |
640×480像素顯示 *2 |
||
圖像數(shù)據(jù)保存 |
保存圖像尺寸 |
640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 |
|
選配附件 |
能譜儀(EDX) |
||
X射線波譜儀(WDX) |
|||
電子背散射衍射(EBSD) |
|||
陰熒光探測器(CL) |
|||
冷凍傳輸系統(tǒng) |
|||
各種功能樣品臺 |
*1為選配項。
*2支持雙屏顯示。